金融界 2025 年 1 月 31 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司请求一项名为“气体分配器、等离子体处理设备及气体切换操作方法”的专利，公开号 CN 119381235 A，请求日期为 2023 年 7 月。 专利摘要显现，本发明供给了一种气体分配器、等离子体处理设备及气体切换操作方法，归于等离子体处理设备技术领域，未处理气体分配器中管路放电形成的设备损害，详细包含：气体喷淋头；与所述气体喷淋头电衔接的射频源；长途等离子体源，其等离子体出口经过一输气管道与所述气体喷淋头的出气口连通，以及移动塞，经过移动塞在输气管道中移动来切换不同的工艺处理状况，以实现在等离子体处理过程中，既满意多种工艺对等离子体品种的要求，又防止气体在输气管道中被激发成等离子体后损害设备。 天眼查资料显现，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱62236.3735万人民币，实缴本钱61927.9423万人民币。经过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外出资了27家企业，参加招投标项目65次，知识产权方面有商标信息71条，专利信息1425条，此外企业还具有行政许可71个。
